深圳荧鸿从2006到现在一直致力于为客户研发更适合的表面瑕疵检查灯,最近根据晶圆晶片客户要求开发新款应用于半导体晶圆晶片表面瑕疵检查灯SL8804-GYS和SL8904-H,均由4颗LED制作,可检查出半导体晶圆表面1um瑕疵,瑕疵包含冗余物(如微小颗粒、灰尘、晶圆加工前一个工序的残留物)和机械损伤。
SL8804-GYSL采用人眼最敏感510-590NM之间波长光,为桌面式检查灯,可精确检查到1um以下的刮痕或微粒子,并且具有绿光和黄光2种颜色的复合光,几乎可检测出所有尘埃,大大降低晶圆晶片不良率。使用寿命为2万小时以上。光源强度可达90000LX,最小可以检测1μ的表面脏污,比传统的检查灯,效用增强10倍。
SL8904-H是一款便携手持式wafer晶片晶圆表面瑕疵检查灯,高强度紫外线,符合ASTM E 3022等各种国际标准,配有三脚架,可解放双手方便各种测试; 高强度紫外线可细微检测出晶圆表面各种瑕疵,紫外灯的光束轮廓非常均匀,没有任何足迹显示LED的阴影,黑点或其他干扰缺陷。
更多关于晶圆晶片表面瑕疵缺陷检查灯SL8804-GYS和SL8904-H信息,请咨询深圳荧鸿销售:0755-89233889。