晶圆瑕疵表面检测：选LED检测灯还是卤素灯

对晶圆表面进行瑕疵检测可用LED表面瑕疵检测灯也可采用卤素灯，在国产检测灯技术没有那么好的时候，高要求检测需求很多会选择进口卤素灯，但现在国内检测技术在进步，自己可以在这两种进行选择，国内深圳荧鸿表面瑕疵LED检测灯SL8900与卤素灯的参数对比如下：

以上参数表格可知，两种晶圆瑕疵检测灯的光源不一样，同样的照度，LED光源为冷光源，使用寿命更长，温度更低因此光稳定性更强。SL8900的照射面积大，可检测更大的晶圆。另外因为卤素灯灯牌使用寿星短，同样的检测灯成本使用同样的时间，卤素灯因为要更换灯泡，最终的成本更大！深圳荧鸿专注半导体、玻璃、屏幕等瑕疵检测，更多关于表面瑕疵检测灯可咨询0755-89233889！