晶圆瑕疵检测灯SL8900白光和黄绿光讲解

晶圆瑕疵检测灯SL8900白光和黄绿光讲解

时间:2022-12-26 编辑:SunLonge

SL8900采用桌面式设计,主要由灯头、支架、底座和调光器4个部分组成。SL8900采用一颗30W 6000K白光LED,有白光和黄绿光两种,在30cm处的光照度可达40万lux。SL8900可通过旋转灯头和调节调光器调光,采用220V交流供电,可24小时不间断工作。

SL8900白光采用的一颗30W 6000K白光LED,通过定制的光学透镜模组组合,在30cm处的光照度可达40万lux,可检测表面低至1um的瑕疵,主要用于晶圆表面瑕疵检测,尤其适合晶圆表面的刮伤和微刮花的瑕疵检测。

SL8900黄绿光采用的一颗30W 6000K白光LED,加上定制的滤光片,得到500-600nm的黄绿复合光。所以SL8900既可以使用白光又可使用黄绿光,一灯亮光。SL8900通过定制的光学透镜模组组合,在30cm处的光照度可达40万lux,可检测表面低至1um的瑕疵,主要用于晶圆表面瑕疵检测,尤其适合晶圆表面的粉尘异物的瑕疵检测。

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