为什么晶圆表面瑕疵检测灯要用黄光或绿光？

晶圆表面瑕疵检测灯一般都会选择黄光，绿光或是黄绿复合光，这是因为以下2个原因：

1/黄光和绿光本身的特点

黄光和绿光的波长范围分别为597~577nm、577~492nm，人眼在这两种光的环境下较高敏感度而且光线柔和不伤眼睛，特别是绿光表面检查灯。深圳荧鸿表面瑕疵检测灯可精确检查到1um左右的微尘、刮痕灯瑕疵，在30cm处的光照度可高达30万LX，有多种样式可供选择，且支持根据用户要求定制。

2/晶圆制作过程，光刻和蚀刻中有紫外线存在，所以要求表面瑕疵灯要求不能含有紫外线和蓝光部分

晶圆片表面检测灯SL8900&SL8600