半导体晶圆瑕疵检查效果和什么有关系？

半导体晶圆瑕疵检查效果和瑕疵检查灯的强度和以及光均匀性有关：检测半导体晶圆瑕疵要求检查灯的亮度需要达到20万LX以上，均匀性需要达到85%以上，需要使用不同的光学系统来定制和制造特殊的波长和色温；我们深圳荧鸿科技使半导体晶圆瑕疵检查灯用多个光学透镜的技术，30W的LED经过几次光学转换，瑕疵检查灯的强度最高能达到40万LX(测试距离30CM)，在业内属于领先的水平，能检测出um级别的瑕疵。