SL8500用于瑕疵检测的4个特点

掩模版（光掩模板）在涉及光刻工艺的领域都需要使用，因此在半导体晶圆制造材料中占有重要地位。检测掩膜版表面瑕疵也是一项重要的作业，但由于石英掩膜版高透且薄，因此检测成为一个难题。深圳荧鸿在表面检测行业用于十几年技术，瑕疵检测灯SL8500可很好的检测掩膜版表面的瑕疵。SL8500可用于检测掩膜版瑕疵主要特点如下：

1)波长和色温。不同表面检测应用需要不同的波长和色温光源：对于划痕和裂纹缺陷，我们通常使用6000K的白光光源。如果有颗粒或灰尘等缺陷，我们将使用绿光或黄绿色光源。采用灵敏光源，缺陷在检测中更加明显。而且人睛也不会受到伤害。SL8500配有20W 6000K白光LED光源。配合定制滤光片，SL8500可执行2个波长，6000K白光或500-600NM绿黄复合光源。这使得SL8500可以覆盖更多的应用需求。

2)光照度。照度是表面检测的重要参数。普通灯的照度在几百甚至几千LX左右，而晶圆表面检测的照度需要达到1万级别勒LX。所以普通检测灯不能不能检测出小的缺陷，无法满足高端表面检测应用的需求。SL8500配有1pcs 20W LED光源，配合我们定制的光学镜头，最终照度可达150000LX。

3)光线均匀性。对于光掩膜检测，光均匀性是要考虑的关键因素。由于光掩膜的高透明度，在检测过程中光源会穿过样品本身。那么光均匀度越高，灯的性能就越好。普通灯的均匀度可达50%左右。对于晶圆检测应用，均匀度需要达到80%检查才可以完成。SL8500内置多个光学镜头，光均匀度可达90%。这使得SL8500在实际检测中可以检测到最小1um尺寸的缺陷。

SL8500现已被众多光掩模制造商在该领域应用，检测效果好。想了解更多关于Sunlonge SL8500检测灯的信息，请联系0755-89233889，我们总会为您提供可行的解决方案。