晶圆瑕疵检测之人工或自动化检测的3大问

晶圆瑕疵检测有人工采用晶圆瑕疵检测灯目视检测也有自动化视觉检测，两种检测各有什么区别？那种好？让专注于晶圆瑕疵检测灯的深圳荧鸿为你简单介绍，更多详情咨询0755-89233889！

Q1：晶圆瑕疵检测采用人工目检还是自动化检测好？
A：半导体晶圆瑕疵检测人工目检和自动化视觉检测各有各的好处，成本上自动化视觉检测设备昂贵，但是可大批量检测，速度快，但用晶圆瑕疵检测灯进行人工目检可检测机器视觉检测不出的瑕疵，如隐形的裂纹，水印等高要求瑕疵检测。

Q2：专业的晶圆瑕疵检测灯和自动化视觉检测的光源是一样的吗？
A：专业的半导体瑕疵检测灯和自动化视觉检测的光源不一样，主要表现为侧重点不一样。专业的工业检测灯一般用于人工目检，可检测自动化视觉检测不出的瑕疵，因此采用的是光亮度高精度的光源（像我们深圳荧鸿晶圆瑕疵检测灯SL9300，虽小巧但亮度有16.9万LX，可定制更高的），而自动化视觉检测的光源主要是利用相机放大光源检测的瑕疵，对光源的要求不高。

Q3：大多数的晶圆厂家检测瑕疵用的自动化视觉检测？
A：这个不一定，因为晶圆瑕疵检测有好几个流程，有的适合人工目检有的适合自动化视觉检测。如前端的制程（原材料等）大部分使用人工目视检测，到了中端和后段使用人工目检就比较少一些，因为自动化检测都是综合性的检测设备，除了检测瑕疵还可测试外观等，不过在此阶段也会使用专用的晶圆瑕疵检测灯用于人工目视抽检。