半导体半自动化瑕疵检测设备

半导体半自动化瑕疵检测设备简介

深圳荧鸿半导体半自动化瑕疵检测设备由三轴自动调节设备SLT600(三轴手动/电动旋转台+控制器)、瑕疵检测灯（一般配SL8500-GY）组成。SLT600半导体旋转台采用电动控制，响应速度快，控制精度高可实现复杂运动控制和高效能量转换；具备高稳定性和重复性，可检测um级别瑕疵，被各半导体厂商广泛应用。

半导体半自动化瑕疵检测设备检测原理
半导体瑕疵检测灯SL8500利用适合的LED灯源，通过光学镜片折射出特殊波长的光源，照在工件表面折射出光路，使得操作员肉眼可识别出工件表面的灰尘、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵点。三轴旋转台通过控制器进行移动，可全面检测不同位置的瑕疵，解放双手。

半导体半自动化瑕疵检测设备检测步骤
将待检测的半导体材料安装在三轴控制台上，瑕疵检测灯安置于材料前。控制台有XYZ三轴，通过控制器可对材料进行上下左右移动，可让材料全方位经过瑕疵检测灯的照射，人眼从而发现半导体材料表面瑕疵。

SLT6000三轴手动、电动旋转台参数
型号：SLT600旋转台
1.X/Y轴电动行程：500（±250）mm     Z轴电动行程：250mm D
2.X/Y手动行程：±75mm ；  旋转手调：±120°    倾斜手调：±90°； 夹紧手调：100mm
3.旋转台尺寸：78*78CM，重量38KG               控制台：38*25*16cm   8KG

SLT600手动、电动旋转台的特点：
1.旋转台由通常由铝合金等材质制成，采用精密加工的导轨和传动部件
2.结构设计紧凑，操作方便，适用于空间有限的环境。通过手动调节实现旋转，重复性和精度较高
3.应用：常用于科研、实验室等对精度和稳定性要求较高的场合，如光学实验、精密仪器搭建等