选择晶圆瑕疵检测灯的4个技巧

选择合适的检测灯才能高效的检测出晶圆片表面的瑕疵，深圳荧鸿专注于晶圆片瑕疵检测，为您整理如下4点挑选晶圆片检测灯的方向：

1、照度
通常10万lux照度（30CM）的灯可以满足大部分晶圆检测需求。然而对于高端客户，灯具需要至少具有30万LUX 照度（30CM）。使用该灯，可以检测到最小的缺陷。深圳荧鸿用于晶圆片瑕疵检测的检查灯在30cm处照度大多超过10万lux ，甚至SL8600在30cm处的照度为30万LUX，SL8900在30cm处的照度为40万LUX，可以满足不同检测需求用户使用。

2、照射面积
晶圆有不同的尺寸，如6 英寸、8 英寸甚至 10 英寸、12 英寸。由于足够轻薄，检测突出表面上的缺陷可能会更加困难。另外，大尺寸的样品通常会要求光束面积大得多的检测灯所以选择晶圆检测灯尽可能的照射面积要大。
深圳荧鸿晶圆检测灯，在30cm处少社面积有Ø 10cm（SL9300），有Ø 8-16cm（SL8500），有Ø9-20cm（SL8900）等等，可满足不同尺寸晶圆片的检测需求。

3、光源
选择人眼敏感的光源，一般会选择绿光和黄绿复合光。深圳荧鸿晶圆瑕疵检测灯有绿光和黄绿光，采用LED为光源，每个LED前面通过添加3-4个不同的光学透镜或镜片，通过不同的角度、高度光学透镜和镜片的组合，可以按照客户的要求人为的制造出特殊的光源。深圳荧鸿晶圆片检测灯可检测出表面低至1um的瑕疵。

4、预算及定制
预算目标往往在购买晶圆检测灯时成为最后的决定权，实现高的性价比是每个采购商的目标。不过不同厂家的晶圆瑕疵检测灯不一样，谁都不能说自己是最好的。深圳荧鸿专注检测灯十来年，可在原检测灯外形基础上，通过人为更改LED以及透镜来实现不同用户的检测需求。