表面瑕疵表面检查灯用于晶圆表面检查

表面瑕疵表面检查灯用于晶圆表面检查

时间:2020-6-22 编辑:荧鸿科技

晶圆厂家将沙子/石英经过脱氧提纯、旋转拉伸成晶棒、晶片分片、打磨抛光、Wafer镀膜、上光刻胶、光刻、离子注射、电镀、抛光、晶圆切片、测试、包装入盒、发往封测灯一些列操作得到成品晶圆。出厂前,测试晶圆表面瑕疵缺陷来区分良品和不良品是很重要的一步。

晶圆表面的瑕疵缺陷主要有:①晶圆表面的冗余物,其种类比较多,例如包含微小颗粒、灰尘、晶圆加工前一个工序的残留物。这些冗余物的出现,一般是来自于晶圆表面的空气污浊以及加工环节中化学试剂的清理不干净等。这些冗余物的出现,将会严重的影响到晶圆表面的完整性;②晶圆的机械损伤,一般是指晶圆表面的因为抛光、或者是切片而为晶圆表面所造成的划痕,该种缺陷一般是由于是化学机械造成的。

针对以上两种瑕疵缺陷问题,我们深圳荧鸿专为此研发桌面式晶圆表面瑕疵检查灯SL8804-GY和便携手持式晶圆表面瑕疵检查灯SL8904-H。这两款晶圆表面瑕疵检查灯均采用4颗LED制作,分别为人眼敏感510-590nm黄绿光和365nm高强度紫外线光,能精准检测到1um的瑕疵,大大的提高检测效率。了解更多,请咨询深圳荧鸿0755-89233889。

表面瑕疵表面检查灯用于晶圆表面检查

晶圆晶片表面瑕疵缺陷检查灯

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