sunlonge晶圆瑕疵检测灯可以检测到哪些瑕疵？

时间：2024-1-15 编辑：SunLonge

sunlonge晶圆瑕疵检测灯主要为黄光、绿光，可检测晶圆表面的冗余物，包括表面扶着的灰尘、颗粒、污染物等。这些晶圆瑕疵来自于切割、抛光、清洗、刻蚀等工序中产生的碎屑，或者是空气中的尘埃，或者是化学试剂的残留，还可检测由机械损伤引发的晶圆表面划痕、本变、剥离等现象，另外可检测晶圆本身缺陷，如：空洞、凹坑。