sunlonge晶圆瑕疵检测灯主要为黄光、绿光,可检测晶圆表面的冗余物 ,包括表面扶着的灰尘、颗粒、污染物等。这些晶圆瑕疵来自于切割、抛光、清洗、刻蚀等工序中产生的碎屑,或者是空气中的尘埃,或者是化学试剂的残留,还可检测由机械损伤引发的晶圆表面划痕、本变、剥离等现象,另外可检测晶圆本身缺陷,如:空洞、凹坑。
水溶性示踪剂SL3500-荧光紫红房屋检漏
紫外线+蓝光双波段激发光源SL8806-UB
紫外线+蓝光刑警法医检查灯SL8806UB
UV-A紫外线照度计SLM-110
表面检查灯应用于陶瓷基板表面瑕疵检查
紫外线灯SL8104-H在无尘实验室检测飞尘
蓝光激发光源用于绿色荧光蛋白激发
半导体晶圆片缺陷检查灯SL8900检查晶圆片表面飞尘