掩膜版表面瑕疵检测操作

由于掩膜版的高透光和高透亮特性，因此检测其表面瑕疵难度稍大。下面深圳荧鸿以表面瑕疵检查灯SL8500为例讲解掩膜版表面瑕疵检测操作（视频版本可查看“掩膜版表面瑕疵检测讲解”）。如果检测掩膜版表面刮痕，可直接选择6000K白光版，如果需要检测表面异物，SL8500则选择500-600nm黄绿复合光版。以下以瑕疵检测灯SL8500白光版为例，操作如下：

1–调整表面瑕疵检测灯SL8500位置，灯头与台面距离为30cm，角度为垂直90度
2–在台面放一块黑色的背景板
3–打开表面瑕疵检测灯SL8500并将亮度调到满值
4–手拿掩膜版并将其放在底端离台面15cm处，与水平角度保持在30-60度之间
5–不断地调整角度位置，直到找到合适的角度