方形和圆形掩模板表面瑕疵检测一样么？怎么检测？

掩模板作为半导体晶圆光刻步骤中重要的工件，使用前必须检测表面瑕疵情况，但检测方形和圆形掩模板表面瑕疵是一样的，深圳荧鸿都是采用悬浮法进行检测。一般掩模板都是采用石英或苏打玻璃制作，具有高透光性，进行表面瑕疵检测比普通的难度大些。SL8500用于掩模板瑕疵检测，如果检测掩膜版表面刮痕可用白光，如果是异物或其他则需要选用黄绿复合光。更多关于晶圆相关瑕疵检测，可咨询0755-89233889！

掩模板表面瑕疵检测步骤：
1-在检测台放置黑色背景板
2-将检测灯灯头调整距离检测台30cm，灯头与检测台角度为垂直90度
3-接通电源，打开SL8500检测灯并将亮度调到最大
4-将掩模板置于灯头与检测台之间，掩模板底部与检测台距离为15cm, 掩模板与水平角度保持30-60度之间
5-检测员不断调整样板与水平的角度直到找到最佳的检测视角