硅晶圆片表面缺陷检查的重要性

全球半导体市场中，95%以上的半导体器件和99%以上的集成电路（LSI）都是用高纯晶圆片(优质的硅抛光片和外延片)制作的。

晶圆片上刻蚀出数以百万计的晶体管，这些晶体管比人的头发要细小上百倍。半导体通过控制电流来管理数据，形成各种文字、数字、声音、图象和色彩。它们被广泛用于集成电路，并间接被地球上的每个人使用。这些应用有些是日常应用，如计算机、电信和电视，还有的应用于先进的微波传送、激光转换系统、医疗诊断和治疗设备、防御系统和NASA航天飞机。

如果不对最开始的硅晶圆片进行缺陷检查或者是缺陷没有被检查出来，那后面应用到硅晶圆片的产品就会有故障，小到影响日常使用大到影响工业/医疗/航天……高科技。