晶圆表面微刮伤缺陷检测

视频中为深圳荧鸿采用半导体缺陷检测灯SL8900（照度40万LX）检测晶圆表面微刮伤缺陷。检测步骤如下，更多关于半导体缺陷检测请咨询0755-89233889！

1）在检测之前，需要对瑕疵检测灯SL8900做一下简单的调整：第一步调整灯头与底座之间的角度角度为垂直90度；第二步调整灯头与底座之间的高度灯头与底座之间的高度为40厘米
2）在底座放一个黑色的背景板
3）第四步接通瑕疵检测灯电源，并打开瑕疵检测灯SL8900，同时通过调光器将瑕疵检测灯SL8900调整到很亮很亮的状态，此时检测灯的辐射光圈为11厘米
4）开始检测，检测时要求检测员不断地调整样板与底座之间的角度，通常在30-60度之间调整，寻找合适的视觉角度，并保持角度不变，将样板左右移动或者前后移动，这样能更好地检测出晶圆表面的微刮伤。