SL8500瑕疵检测灯用于半导体表面缺陷瑕疵检测

瑕疵检测灯SL8500是一款黄绿光表面检查灯（或者是白光），采用一颗20W高亮度进口LED，距离30cm处的光照度可达15万LX，照射面积为8-16cm的光圈，可用于检测半导体晶圆、各种屏幕、玻璃、基材……表面缺陷瑕疵。SL8500已经被应用于半导体晶圆外延片、衬底（透明）以及掩模板（透明）表面缺陷检测。有更高检测要求的，可采用SL8600或咨询0755-89233889！

SL8500检测外延片表面瑕疵

1-在检测台放置黑色背景板
2-将SL8500检测灯灯头调整距离检测台40cm，灯头与检测台角度为垂直90度（不同的灯不一样）
3-接通电源，打开SL8500检测灯并将亮度调到最大
4-将外延片置于检测台上并与水平角度保持一定角度（角度可见使用说明）
5-检测员不断调整外延片与水平的角度直到找到最佳的检测视角

SL8500检测掩膜版表面瑕疵

1-在检测台放置黑色背景板
2-打开SL8500检测灯并将检测灯亮度调到最大
3-将掩膜版悬空放置于SL8500瑕疵检测灯与检测台之间，保持与检测台15cm距离，与水平保持30-60°的角度（不同检测灯不一样）
4-检测员不断调整掩膜版直到找到最合适的检测效果角度

SL8500检测衬底缺陷检

1-调整瑕疵检测灯灯头高度与检测台之间距离为30-40cm，角度为垂直90度，
2-放置黑色背景板于检测台上，打开瑕疵检测灯并将亮度调到最大。
3-采用悬空测试法，手拿半导体衬底放置于检测灯与黑色背景板之间，半导体衬底与背景板之间的距离为15-20cm之间，半导体衬底与水平方向保持30-60度夹角（不同灯不一样）。
4-检测瑕疵时，检测员需要慢慢调整衬底与水平角度以寻找最佳的瑕疵点。