LED瑕疵检测灯SL8600为什么比卤素灯更适合晶圆检测

LED瑕疵检测灯SL8600为什么比卤素灯更适合晶圆检测

时间:2021-8-16 编辑:荧鸿科技

晶圆作为半导体的重要材料,表面瑕疵检测成为晶圆生产的重要步骤。LED表面瑕疵检测灯SL8600与卤素灯均可用于晶圆表面瑕疵检测,但是LED检测灯SL8600更适合用于晶圆表面瑕疵检测,原因如下:

  1. 亮度: LED晶圆片瑕疵检测灯SL8600功率20W,在30cm处的亮度可以高达300 000lux,而要达到同样亮度的卤素灯则需要185W
  2. 光源:LED晶圆片瑕疵检测灯SL8600为LED冷光源,环保可靠,工作时表面温度在50度以下,使用更安全,而卤素灯采用的是灯管,工作温度则高达60度以上
  3. 使用寿命:LED晶圆片瑕疵检测灯SL8600 LED寿命可达30000小时,而卤素灯只有几百小时,需要经常更换灯管,
  4. 结构:LED晶圆片瑕疵检测灯SL8600 LED前加上深圳荧鸿定制的光学透镜,可旋转灯头调节照射范围,通过无极调节开关控制亮度,LED晶圆片瑕疵检测灯SL8600可手提可桌面式,可根据使用环境选择适合的使用样式,而大部分的卤素灯不能
  5. 精度:经过深圳荧鸿实际多次测试,LED晶圆片瑕疵检测灯SL8600能够检测出晶圆表面低至5UM 的瑕疵和缺陷。
  6. 其他:SL8600是深圳荧鸿经过和很多年客户以及QC团队成员沟通和交流,综合考虑到客户的需求和卤素灯的优缺点研发的。SL8600 主要提供两个版本,3000K/6000K 白光以及黄绿复合光版本。同时我们可以根据客户的不同需要,定制其他不同波长的检测灯。
LED瑕疵检测灯SL8600为什么比卤素灯更适合晶圆检测

表面瑕疵检测灯SL8600/8900

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